美國FSM 薄膜應力及基底翹曲測試設備：在襯底鍍上不同的薄膜后, 因為兩者材質不一樣，以及不同的材料不同溫度下特性不一樣, 所以會引起應力。 如應力太大會引起薄膜脫落, 引致組件失效或可靠性不佳的問題。 薄膜應力激光測量儀利用激光測量樣本的形貌,透過比較鍍膜前后襯底曲率半徑的變化, 以Stoney’s Equation計算出應力, 是品檢及改進工藝的有/效手段。

美國FSM高溫薄膜應力及翹曲度測量儀：美國FSM成立于1988年，總部位于圣何塞，多年來為半導體行業等高新行業提供各式精密的測量設備。

FSM413紅外激光測厚儀主要產品包括:光學測量設備:三維輪廓儀、拉曼光譜、 薄膜應力測量設備、 紅外干涉厚度測量設備、電學測量設備:高溫四探針測量設備、非接觸式片電阻及漏電流測量設備、金屬污染分析、等效氧化層厚度分析（EOT）

FSM413 紅外干涉厚度測量設備 主要產品包括:光學測量設備:三維輪廓儀、拉曼光譜、 薄膜應力測量設備、 紅外干涉厚度測量設備、電學測量設備:高溫四探針測量設備、非接觸式片電阻及 漏電流測量設備、金屬污染分析、等效氧化層厚度分析（EOT）

美國FSM 高溫薄膜應力及基底翹曲測試設備：美國FSM成立于1988年，總部位于圣何塞，多年來為半導體行業等高新行業提供各式精密的測量設備。