EVG805-半自動系統（晶圓鍵合機） 用于剝離臨時鍵合和加工過的晶圓疊層，該疊層由器件晶圓，載體晶圓和中間臨時鍵合膠組成。該工具支持熱剝離或機械剝離。

EVG540-晶圓鍵合自動化系統 應用：全自動晶圓鍵合系統（晶圓鍵合機），適用于大300 mm的基板

EVG805-解鍵合晶圓鍵合機 用于剝離臨時鍵合和加工過的晶圓疊層，該疊層由器件晶圓，載體晶圓和中間臨時鍵合膠組成。該工具支持熱剝離或機械剝離。

EVG晶圓鍵合自動系統（晶圓鍵合機）多可容納四個鍵合室，并具有各種鍵合室配置選項，適用于所有鍵合工藝和大300 mm的晶圓。

EVG820層壓站（晶圓鍵合機） 用于將任何類型的干膠膜自動，無應力地層壓到載體晶片上。這項*的層壓技術可對卷筒上的膠帶進行打孔，然后將其對齊并層壓到晶圓上。

EVG850 DB-自動解鍵合系統（晶圓鍵合機） 經過處理的臨時鍵合晶圓疊層被分離和清洗，而易碎的設備晶圓始終在整個工具中得到支撐。支持的剝離方法包括UV激光，熱剝離和機械剝離。