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      EVG805直接鍵合設備
      
            
      簡要描述：EVG805直接鍵合設備是一種半自動系統，用于剝離臨時鍵合和加工的晶圓堆疊，包括器件晶圓，載體晶圓和中間臨時鍵合膠。該工具支持熱剝離或機械剝離。薄晶圓可以卸載在單個基板載體上，以便在工具之間安全可靠地轉移。
      
            
        
    
      • 產品型號：
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      • 廠商性質：代理商
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      • 更新時間：2022-10-24
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      • 訪  問  量： 2711
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      詳細介紹
      
            
      
            	
      EVG805直接鍵合設備應用：薄晶圓臨時鍵合解鍵合，將已經鍵合的材料從載板上剝離。應用于TSV，儲存器，CMOS，功率器件等的加工過程。

      一、簡介
      EVG805直接鍵合設備是一種半自動系統，用于剝離臨時鍵合和加工的晶圓堆疊，包括器件晶圓，載體晶圓和中間臨時鍵合膠。該工具支持熱剝離或機械剝離。薄晶圓可以卸載在單個基板載體上，以便在工具之間安全可靠地轉移。
      二、特征
      開放的黏合劑平臺
      解鍵合選項：
      熱滑脫剝離
      脫黏剝離
      機械玻璃
      程序控制系統
      實時監控和記錄所有相關的過程參數
      薄晶圓處理的功能
      各種卡盤設計，可支持zui大300 mm的晶圓/基板和載體
      高表面地貌晶圓處理
      三、參數
      1.晶圓尺寸：zui大300mm
      2.配置：一個解鍵合模塊
      3.備選：
      紫外光輔解鍵合；
      高表面地貌處理能力；
      不同尺寸晶圓的橋接能力

      
            
      
            
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